所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。在绝大多数情况下，无尘车间运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。

小粒径粉尘的扩散作用(布朗运动)明显，风速低了，气流在过滤材料中滞留的时间就长一些，粉尘就有更多的机会撞击障碍物，因此过滤效率就高。经验表明，对于过滤器，风速减少一半，粉尘的透过率会降低近一个数量级(效率数值增加一个9)，风速增加一倍，透过率会增加一个数量级(效率降低一个9)。

与扩散的效果类似，当过滤材料带静电时(驻极体材料)，粉尘在滤材中滞留的时间越长，被材料吸附的可能性就越大。改变风速，带静电材料的过滤效率会明显改变。如果你知道材料上有静电，进行空调系统设计时就应该尽可能地减少通过每只过滤器的风量。

进入无尘车间须知

(1)进入无尘车间应穿干净鞋具，不得带油渍、污泥入内;

(2)室内不得吸烟、饮食和饮水;

(3)焊接、切割、凿洞等有尘作业必须加以控制，防止碎屑大范围扩散，每天工作结束时应将垃圾搬出室外倒入规定处;

(4)施工材料堆放整齐;

(5)室内严禁大小便;