所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。在绝大多数情况下，无尘车间运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。
无尘室洁净度之维持和控制，除了硬件设备的投资外，也需要良好的软件—管理制度来搭配，才能保持良好的洁净度；无尘室运行和管理，可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等加以探讨；无尘室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，系统运行维护及保养需要经过培训的专业人士来执行。
无尘车间是指在封闭空间范围内将有害空气、、微粒子等污染物排出，并将室内温度、室内压力、气流速度等控制在某一范围内。无尘车间的洁净程度高，空气经过多重净化，温度环境适合工人工作，无尘车间内如果没有辐射物，没有油漆、白电油等释放有害气体的物品，而且送风排风有效，设备管理得当，那么无尘车间对身体一般没有危害。
进入无尘车间须知
(1)进入无尘车间应穿干净鞋具，不得带油渍、污泥入内;
(2)室内不得吸烟、饮食和饮水;
(3)焊接、切割、凿洞等有尘作业必须加以控制，防止碎屑大范围扩散，每天工作结束时应将垃圾搬出室外倒入规定处;
(4)施工材料堆放整齐;
(5)室内严禁大小便;