ASML 一直处于高度戒备状态。 去年，该公司两次提高了生产目标：它希望到 2025 年出货约 600 台 DUV 和 90 台 EUV 光刻机，而去年分别为不到 200 台和 35 台。在典型的一周内，数百人在 Veldhoven 开始他们的新工作。由于持续的芯片短缺，交付问题每天都在发生。更不用说像今年年初柏林工厂发生火灾这样的挫折，导致 EUV 晶圆夹具的生产暂时瘫痪。